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隨著半導體技術(shù)及微電子技術(shù)的迅速發(fā)展，對精密加工技術(shù)及零件加工精度的要求也越來越高。定位誤差是影響加工精度的主要因素，而高精度的在線測量系統(tǒng)又是降低定位誤差的技術(shù)關(guān)鍵。傳統(tǒng)的非光學測量方法雖然能夠?qū)崿F(xiàn)納米甚至亞納米的測量分辨率，但在溯源到米定義時，仍然需要利用激光千涉儀等光學方法進行標定和校正"。因此在現(xiàn)代超精密加工設(shè)備中，普遍采用納米級分辨率的雙頻激光千涉儀進行高精度位移測量。

美國api激光干涉儀，用于機床設(shè)備、測量儀器及精密部件的線性精度、角度及回轉(zhuǎn)角精度的檢測和驗收。

測量長距離（大于4m）直線度時，需換用長距離直線度測量鏡。

連續(xù)生產(chǎn)與*方案：

        為了避免突然停機、停產(chǎn)，API公司為現(xiàn)代化的機加工車間提供*測量解決方案，也就是*方案。長期以來.車間管理人員一直以1D激光測量系統(tǒng)來繪制機床誤差圖及進行校準。而這樣一來，想要測量完整的21項參數(shù)。則需要進行21到24次單獨的安裝調(diào)試.而且每一軸的每一次測量都需要1-2小時時間.因此，整個機床的測量過程通常要占用兩到三個工作日.這就使得機床長時間處于停工狀態(tài)，嚴重影響了車間的利潤率和生產(chǎn)能力。采用API公司的XD Laser激光干涉儀就*避免了上述缺陷使得對機床的測量快捷、簡便。

儀器的溯源性：

API公司XD系列激光干涉儀的各項參數(shù)(線性、直線度、角度)都是溯源到國家和標準上的。這些精度都經(jīng)過美國國家標準局(NIST)、中國計量科學研究院和德國PTB等機構(gòu)的檢驗-

        6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學相位探測器識別后進行電子記數(shù)，記錄精確長度位移。第二束光用作直線度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級管測得。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測量儀在結(jié)構(gòu)的設(shè)計以及激光器的選擇方面都做了仔細周密的考慮，以使測量儀的橫向和角度漂移量都降低到z小，從而保證測量儀的長期穩(wěn)定性。測量儀配有自動氣壓、環(huán)境溫度補償器，自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響，測量儀還配有專門設(shè)計的多重數(shù)字濾波器，使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到z小。

美國API 激光干涉儀使用介紹

(一) 硬件的安裝連接及調(diào)光 A. 安裝步驟 ? 首先將激光干涉儀放置于所需測量機器的工作平臺，讓激光照射 的方向大致與所測軸運動方向平行。 ? 打開激光干涉儀下面的磁力座開關(guān)（如平臺非鐵件，需安裝一鐵 板以便磁力座更好的吸附）。 ? 將機器所測量軸移動至近處軟限位位置。 ? 將 1D/3D 反射鏡鏡面朝向干涉儀方向并安裝在機器運動狀態(tài)下穩(wěn) 定不會晃動的零部件上。（反射鏡與干涉儀均可作為運動測量） ? 激光干涉儀與反射鏡安裝完畢后，檢測測量軸在做全程運動時能 有效的接收激光照射且不會碰到反射鏡及機器的任意部件。 B. 硬件連接注意事項 ? 在做硬件連接前請將電源開關(guān)置于關(guān)閉狀態(tài) ? 氣象站接口（weather ）在連接前請務(wù)必注意方向性，拔出時請捏 住根部彈簧接口拔出，對野蠻插拔導致接口損壞，API 不予保修 ? 電源線接口（DC IN 12V ）有螺旋扣，在連接時需注意。 ? 在安裝好激光干涉儀后將水平與垂直方向的旋鈕調(diào)整至中間位置， 以確保在光路調(diào)整過程中兩個方向均有可調(diào)節(jié)的余量。 ? 氣象站材料溫度傳感器和空氣溫度傳感器以及大氣壓力傳感器請 放置于機器的工作臺面上。 C. 光路調(diào)節(jié)步驟 1. 將反射鏡前面的旋轉(zhuǎn)蓋進行旋轉(zhuǎn)，讓旋轉(zhuǎn)蓋上的白點置于下方 2. 移動機器測量軸將干涉儀（或反射鏡）移動至兩者近端 3. 借助機器的控制手柄或手輪移動其他兩個軸，讓激光干涉儀的 光線照射在反射鏡的白點位置，如無控制手柄可借助的情況下 請調(diào)節(jié)反射鏡處的磁力座或十字插接件上的連接桿進行移動 調(diào)節(jié) 4. 移動機器測量軸將干涉儀（或反射鏡）移動至兩者遠端 5. 如果激光照射在 白點水平位置距離偏差過大致使調(diào)節(jié)旋鈕超 越可調(diào)范圍，請松開激光干涉儀下方的磁力座開關(guān)，移動干涉 儀適量角度確保激光照射在白點垂直線上 6. 此時調(diào)節(jié)激光干涉儀主機右側(cè)及下方的調(diào)節(jié)旋鈕，使激光光線 照射在反射鏡白點的中心位置 7. 重復(fù) 2、3、4、6 步驟，來回往返數(shù)次，讓激光全程照射在反 射鏡白點中心，此刻初次調(diào)光完成，將反射鏡前端的旋轉(zhuǎn)蓋進 行 90 度或-90 度旋轉(zhuǎn)致使白點置于左右兩側(cè) 8. 打開軟件主界面，線性光強窗口條幅深綠色，數(shù)值 100% （機 器測量軸全程運動時），1D 的配置的激光干涉儀即可有效的測 量線性精度 .....